科学研究：

研究方向：

主要研究微光机电系统设计及其集成技术、MEMS传感器及执行器。

承担的科研项目情况：

主持或参加科研项目多项。

科研成果：

1 非硅MEMS技术及其应用研究 陈文元;丁桂甫;陈迪;陈佳品;戴旭涵;刘景全;张卫平;汪红;朱军;李振波;吴校生;赵小林;杨春生 上海交通大学 2007

2 连续变焦超长超高真空准直、聚焦系统和水冷双晶单色器 陈文元;张卫平;高雪官;盛伟繁;阎永廉;柳晖 上海交通大学 2007

3 用于信息安全的MEMS强链 陈文元;高杨;赵小林;张卫平;冯建智;丁桂甫;周狄;杨春生;陈佳品;张琛;吴校生;李胜勇;冯敏华;谈顺毅 上海交通大学 2005

4 用于北京同步辐射X光束线准直、单色、聚焦系统 陈文元;盛伟繁;高雪官;刘鹏;张卫平;谢亚宁;洗鼎昌;胡天斗;阎永廉 上海交通大学 2003

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发明专利：

1 电磁驱动式扑翼微飞行器 张卫平;孟坤;迟鹏程;陈文元;李洪谊;崔峰;吴校生;刘武 上海交通大学 2011-01-19

2 双翼式仿昆飞行器 张卫平;孟坤;迟鹏程;陈文元;李洪谊;崔峰;刘武;吴校生 上海交通大学 2011-01-19

3 线圈阵列的微型生物粒子操纵系统 张卫平;王群;李世鹏;陈文元;刘武;崔峰;吴校生 上海交通大学 2011-02-16

4 压电仿昆虫微扑翼飞行器 张卫平;迟鹏程;陈文元;李洪谊;孟坤;刘武;吴校生;崔峰 上海交通大学;中国科学院沈阳自动化研究所 2011-01-05

5 仿昆虫微型扑翼飞行器 张卫平;迟鹏程;陈文元;李洪谊;孟坤;刘武;崔峰;吴校生 上海交通大学;中国科学院沈阳自动化研究所 2011-01-19

6 基于永磁体的生物粒子三维操纵装置 张卫平;李世鹏;陈文元;刘武;胡牧风 上海交通大学 2010-09-01

7 基于MEMS技术的抗磁粒子三维操纵装置 张卫平;李世鹏;陈文元;刘武;胡牧风 上海交通大学 2010-09-15

8 基于线圈的生物粒子三维操纵装置 张卫平;李世鹏;陈文元;刘武;胡牧风 上海交通大学 2010-10-06

9 基于压电晶体频率转换机构的微型发电装置 张卫平;秦奎;陈文元;吴校生;崔峰;刘武 上海交通大学 2010-01-06

10 复合密度和刚度的微机电固态陀螺仪 张卫平;陈文元;吴校生;崔峰;刘武;卢奕鹏 上海交通大学 2009-12-30

11 驱动鉴码耦合一体化微小机电密码锁 张卫平;秦奎;陈文元 上海交通大学 2010-02-10

12 静电悬浮电晕驱动旋转微陀螺 张卫平;刘凯;陈文元;刘武;戴福彦;吴校生;崔峰 上海交通大学 2009-10-21

13 利用电磁和电荷弛豫工作的悬浮转子微陀螺 张卫平;刘凯;陈文元;崔峰;吴校生 上海交通大学 2009-10-21

14 利用电磁和电晕工作的悬浮转子微陀螺 张卫平;刘凯;陈文元;刘武;戴福彦;崔峰;吴校生 上海交通大学 2009-10-21

15 反磁悬浮和电晕驱动旋转的微陀螺 张卫平;刘凯;陈文元;刘武;戴福彦;吴校生;崔峰 上海交通大学 2009-10-21

16 反磁悬浮振动微陀螺 张卫平;戴福彦;陈文元;刘武;刘凯 上海交通大学 2009-07-08

17 硬磁悬浮振动微陀螺 张卫平;戴福彦;陈文元;刘凯 上海交通大学 2009-07-08

18 基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计 张卫平;卢奕鹏;陈文元;蔡新午 上海交通大学 2009-07-08

19 带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺 吴校生;陈文元 上海交通大学 2009-04-01

20 具有正方形表面长方体压电振子的全固态双轴陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元;吴校生;崔峰 上海交通大学 2009-01-07

21 具有正方形通孔压电振子的全固态双轴陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元;吴校生;崔峰 上海交通大学 2009-01-07

22 具有长方体振子的全固态双轴磁致伸缩压电陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元 上海交通大学 2009-01-07

23 具有“回”型槽结构压电振子的全固态双轴陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元;吴校生;崔峰 上海交通大学 2009-01-07

24 具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元 上海交通大学 2009-01-07

25 具有磁致伸缩振子的双轴压电检测陀螺仪 张卫平;卢奕鹏;陈文元 上海交通大学 2009-01-07

26 FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密系统 陈文元;汤坚;张卫平;许鹏;李怡斌 上海交通大学 2008-10-08

27 单片机控制MEMS强链的移动硬盘加密系统 陈文元;汤坚;张卫平;李怡斌;许鹏 上海交通大学 2008-10-08

28 基于MEMS强链和FPGA技术的移动硬盘加密系统 陈文元;汤坚;张卫平;李怡斌;许鹏 上海交通大学 2008-10-08

29 基于MEMS密码锁和双FPGA的SATA硬盘物理加密系统 张卫平;许鹏;陈文元;李怡斌;汤坚 上海交通大学 2008-10-08

30 基于MEMS密码锁和双FPGA的IDE硬盘物理加密系统 张卫平;许鹏;陈文元;李怡斌;汤坚 上海交通大学 2008-10-08

31 基于MEMS密码锁及FPGA的硬盘加密系统 张卫平;李怡斌;陈文元;许鹏;汤坚 上海交通大学 2008-10-08

32 基于MEMS强链的PCI接口硬盘加密系统 张卫平;李怡斌;陈文元;汤坚;许鹏 上海交通大学 2008-10-08

33 微固体模态陀螺 吴校生;陈文元 上海交通大学 2008-09-10

34 圆形及多环形轴向充磁永磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

35 圆形及多环形轴向充磁永磁反磁转子感应旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

36 圆形及多环形轴向充磁永磁反磁转子静电旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

37 圆形及多环形轴向径向充磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

38 圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁转子感应旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

39 圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁转子静电旋转微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

40 圆形及多环形轴向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

41 圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-07-09

42 热解石墨基片上微结构的实现方法 张卫平;陈文元;刘武;张忠榕 上海交通大学 2008-06-18

43 金属电容式微加速度计 陈文元;李凯;吴校生;张卫平;崔峰 上海交通大学 2007-12-19

44 双模式反磁转子感应旋转微陀螺 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2007-11-14

45 双模式反磁转子静电旋转微陀螺 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2008-01-23

46 双模式反磁敏感质量微加速度计 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2008-01-23

47 挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元;凌灵 上海交通大学 2007-10-17

48 挠性静电补偿式线圈加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元;凌灵 上海交通大学 2007-10-17

49 挠性硬磁补偿式静电加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元 上海交通大学 2007-10-17

50 挠性硬磁软磁补偿式静电加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元 上海交通大学 2007-10-17

51 挠性硬磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元 上海交通大学 2007-10-17

52 流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式静电加矩微陀螺 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-17

53 流体与旋转驱动挠性硬磁软磁补偿式静电加矩微陀螺仪 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-17

54 流体与旋转驱动一体化挠性静电补偿式线圈加矩微陀螺仪 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-17

55 流体与旋转驱动挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩微陀螺仪 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-17

56 挠性硬磁软磁补偿式线圈加矩流体微陀螺仪 张卫平;周海军;陈文元 上海交通大学 2007-10-24

57 流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式静电加矩微陀螺仪 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-24

58 流体与旋转驱动一体化挠性硬磁补偿式线圈加矩微陀螺仪 张卫平;陈文元;周海军 上海交通大学 2007-10-24

59 定子内嵌式电磁悬浮微系统 吴校生;陈文元 上海交通大学 2007-09-26

60 反磁悬浮转子静电驱动微型陀螺仪 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2007-08-22

61 反磁转子电磁感应驱动微型陀螺仪 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2007-08-22

62 悬浮式反磁敏感质量微型加速度计 张卫平;张忠榕;陈文元;刘武 上海交通大学 2007-08-22

63 内稳电磁悬浮环形转子微转动陀螺 吴校生;陈文元;赵小林 上海交通大学 2007-08-15

64 定子内嵌式电磁悬浮转子微马达 吴校生;陈文元;赵小林 上海交通大学 2007-08-29

65 内嵌镍丝双菱型结构加热式驱动SU-8基体微钳 张卫平;张忠榕;陈文元 上海交通大学 2007-03-21

66 双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺 吴校生;陈文元 上海交通大学 2007-02-28

67 用于直线推进的多弧结构的改性SU8电热微执行器 张卫平;陈实;陈文元 上海交通大学 2007-03-07

68 挠性立柱跷板式双层结构微加速度计 张卫平;万明亮;陈文元 上海交通大学 2007-01-03

69 静电支撑悬浮电磁感应旋转微陀螺 张卫平;周海军;陈文元 上海交通大学 2006-12-13

70 主动悬浮永磁环形转子异步感应微机械陀螺陀螺仪 张卫平;陈文元;刘武;段永瑞 上海交通大学 2006-11-08

71 基于轮腿式复合机构的微小型步行机器人 陈文元;曹雯;张卫平;彭松林;左德参 上海交通大学 2006-09-27

72 抗磁性悬浮永磁转子微加速度计 陈文元;刘武;张卫平 上海交通大学 2006-09-13

73 基于MEMS密码锁的硬盘加密系统 陈文元;冯敏华;谈顺毅;张卫平;李胜勇 上海交通大学 2006-09-27

74 双定子电磁悬浮转子微转动陀螺 陈文元;吴校生;赵小林;张卫平 上海交通大学 2006-08-16

75 电容式微流体角加速度计 吴校生;陈文元;赵小林;张卫平 上海交通大学 2006-08-16

76 独****密码集生成方法 陈文元;谈顺毅;张卫平;李胜勇;冯敏华 上海交通大学 2006-08-16

77 电磁悬浮静电驱动微转动陀螺 吴校生;陈文元;赵小林;张卫平 上海交通大学 2006-07-19

78 具有自动复位系统的逐位鉴别可多次试开的MEMS强链 陈文元;李胜勇;张卫平;冯敏华;谈顺毅 上海交通大学 2006-08-30

79 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;赵小林 上海交通大学 2006-05-24

80 永磁介磁组合悬浮转子微陀螺 张卫平;陈文元;刘武;赵小林 上海交通大学 2006-05-24

81 磁电式循环混合器 陈文元;贾晓宇;牛志强;张卫平 上海交通大学 2006-04-26

82 阵列式多腔压电驱动微混合器 陈文元;贾晓宇;牛志强;张卫平 上海交通大学 2006-04-26

83 压电驱式微混合芯片 陈文元;贾晓宇;张卫平;牛志强 上海交通大学 2008-05-28

84 压电驱式微混合芯片 陈文元;贾晓宇;张卫平;牛志强 上海交通大学 2006-02-22

85 高温超导稳悬永磁转子微陀螺 张卫平;陈文元;段永瑞 上海交通大学 2005-12-28

86 电磁驱动动力调谐挠性转子微陀螺 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞 上海交通大学 2005-12-28

87 软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞 上海交通大学 2005-12-21

88 基于微机电系统信息安全强链的电脑锁 陈文元;李胜勇;张卫平 上海交通大学 2005-12-21

89 聚合酶链反应生物芯片温度控制方法 陈文元;邵诗逸;牛志强;张卫平 上海交通大学 2005-12-21

90 单片气动凝胶微阀 陈文元;牛志强;贾晓宇;张卫平 上海交通大学 2005-10-26

91 单片气动凝胶微阀的制造方法 陈文元;牛志强;张卫平;贾晓宇 上海交通大学 2005-11-09

92 基于双氧水分解的微氧气泵 陈文元;牛志强;邵诗逸;张卫平 上海交通大学 2006-01-04

93 基于双氧水分解的微氧气泵制造方法 陈文元;牛志强;邵诗逸;张卫平 上海交通大学 2006-01-04

94 MEMS计算机安全开启装置 陈文元;李胜勇;张卫平 上海交通大学 2005-10-26

95 溅射TiO2使聚合物微流芯片表面改性的方法 陈文元;牛志强;张卫平;贾晓宇 上海交通大学 2005-08-24

96 基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片 陈文元;贾晓宇;牛志强;张卫平 上海交通大学 2005-07-27

97 用于堆积微加工技术的电机定子绕组布线方法 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞 上海交通大学 2005-06-01

98 微机械信息安全网络认证系统 陈文元;李胜勇;张卫平;赵小林 上海交通大学 2005-03-02

99 一体化微加工多层复杂结构的方法 陈文元;姜勇;赵小林;丁桂甫;张卫平 上海交通大学 2005-02-23

100 螺旋式微通道聚合酶链式反应芯片 陈文元;贾晓宇;牛志强;张卫平 上海交通大学 2005-02-23

101 静电悬浮转子微惯性传感器及其制造方法 陈文元;崔峰;赵小林;张卫平 上海交通大学 2005-02-16

102 利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞;崔峰 上海交通大学 2005-01-26

103 基于微机电系统的单向步进反向自锁的电磁驱动器 张卫平;陈文元;赵小林;周狄;张琛;段永瑞 上海交通大学 2004-12-29

104 用于重要系统安全保证的密码机械固化方法 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞 上海交通大学 2004-12-22

105 磁悬浮转子方位微陀螺 陈文元;吴校生;赵小林;张卫平 上海交通大学 2004-02-25

106 同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统 张卫平;陈文元;盛伟繁;阎永廉;王俊杰 上海交通大学 2004-02-04

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论文专著：

在国内外发表论文100余篇。

出版专著：

1、《微执行器》 上海交通大学出版社 2005

2、《MEMS强链及其应用》 科学出版社 2007

3、《集成微流控聚合物PCR芯片》 上海交通大学出版社 2009

4、《微型扑翼式仿生飞行器》 上海交通大学出版社 2010

发表论文：

1 抗磁悬浮的原理、特点和应用 李世鹏; 张卫平; 陈文元; 刘武; 成宇翔 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】磁性材料及器件 2011-02-15

2 磁卡机用直流伺服电机的研究 陈文元; 陈铁年; 丁涛 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】电子计算机外部设备 1994-09-15

3 磁卡机系统直流电机在启动与运行状态下的动态特性研究 陈文元; 吕宣斌; 丁涛 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】电子计算机外部设备 1995-11-15

4 磁卡机系统直流电机制动阶段动态特性研究 陈文元; 丁涛 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】电子计算机外部设备 1996-11-15

5 用于φ2mm电磁型微马达的微3K-2型行星齿轮减速器的研究 陈文元; 丁涛; 李世峰; 姚景元 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】微细加工技术 1997-12-30

6 微细EDM技术加工微齿轮的研究 陈文元; 丁涛; 张卫平; 姚锦元 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】微细加工技术 1998-06-30

7 旋转轴的磁流体密封技术 施文康; 陈文元 上海交通大学; 上海交通大学 【期刊】磨床与磨削 1989-02-15

8 基于DSP的静电悬浮转子微陀螺多自由度控制系统设计 肖奇军; 陈文元; 崔峰; 李胜勇; 张卫平; 肖奇军 上海交通大学微纳科学技术研究院; 广东肇庆学院电子信息工程系 【期刊】伺服控制 2008-12-15

9 一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造 戴福彦; 刘武; 张卫平; 陈文元; 刘凯; 张忠榕 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】传感技术学报 2010-01-20

10 静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 应法明; 肖奇军; 崔峰; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】中国惯性技术学报 2010-04-15

11 MEMS流体陀螺的研究进展 秦奎; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 【期刊】现代电子技术 2010-05-15

12 基于科氏加速度的微陀螺 刘凯; 张卫平; 陈文元; 李凯; 肖奇军; 马高印 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室 【期刊】压电与声光 2010-06-15

13 静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计 覃贞妮; 刘武; 陈文元; 崔峰; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 【期刊】现代电子技术 2010-09-15

14 压电型微固体模态陀螺的相位差检测 何程鹄; 吴校生; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室 【期刊】传感技术学报 2010-07-20

15 基于DSP的静电悬浮微陀螺模拟伺服系统的研究 应法明; 肖奇军; 崔峰; 陈文元; 张卫平; 刘武 上海交通大学微纳科学技术研究院; 广东肇庆学院电子信息与机电工程学院 【期刊】测控技术 2010-10-18

16 基于混合EMD方法的加速度计信号处理 钱莉; 徐国平; 陈文元; 杨宁 上海工程技术大学机械工程学院; 上海卡斯柯信号有限公司; 上海交通大学微纳科学研究院; 上海电力学院电力与自动化工程学院 【期刊】传感技术学报 2010-11-20

17 基于虚拟仪器的压电陀螺扫频信号系统设计 王立奇; 陈文元; 卢弈鹏; 马高印; 吴校生 上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工国家级重点实验室 【期刊】传感器与微系统 2010-07-20

18 静电悬浮转子微陀螺宏模型的提取和分析 肖奇军; 崔峰; 陈文元; 李胜勇; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 广东肇庆学院电子信息工程系 【期刊】压电与声光 2009-02-15

19 基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统 刘凯; 张卫平; 陈文元; 周海军; 肖奇军; 马高印; 李凯 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室 【期刊】传感技术学报 2009-02-20

20 FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密设计 汤坚; 陈文元; 张卫平; 许鹏; 李怡斌 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】计算机工程与应用 2009-04-01

21 内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 苏宇锋; 段智勇; 郑鹏; 刘武发; 陈文元 郑州大学; 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】仪表技术与传感器 2009-04-15

22 基于MEMS加速度计的输入系统的研究 钱莉; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】传感技术学报 2009-05-20

23 基于MEMS强链和FPGA的物理认证系统 许鹏; 张卫平; 陈文元; 李怡斌; 汤坚 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】微计算机信息 2009-05-15

24 静电悬浮转子微陀螺微位移信号检测系统的设计 肖奇军; 陈文元; 崔峰; 李胜勇; 黄晓刚; 邵珰珰 上海交通大学微纳科学技术研究院; 广东肇庆学院电子信息工程系 【期刊】机电工程技术 2009-05-15

25 MEMS强链在硬盘加密系统中的应用研究 李怡斌; 张卫平; 陈文元; 许鹏; 汤坚 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】计算机工程与设计 2009-06-16

26 MEMS微电机综述 戴福彦; 张卫平; 陈文元; 刘凯; 马高印; 肖奇军; 张忠榕 上海交通大学微纳米科学技术研究院 【期刊】微电机 2009-08-28

27 基于MEMS强链和双FPGA的硬盘加密系统 许鹏; 张卫平; 陈文元; 李怡斌; 汤坚 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】计算机工程与设计 2009-08-28

28 基于ARM平台的MEMS输入设备的固件设计 钱莉; 张卫平; 陈文元; 汤坚 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】微计算机信息 2009-08-23

29 静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计 马高印; 陈文元; 张卫平; 崔锋; 王立奇 上海交通大学微纳科学技术研究院; 中国航天科技集团第九研究院13所 【期刊】中国惯性技术学报 2009-12-15

30 基于FPGA驱动微陀螺旋转的移相电路 李世鹏; 张卫平; 刘凯; 刘武; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】中国惯性技术学报 2009-12-15

31 轮腿式微型机器人系统研究 曹雯; 张卫平; 陈文元; 彭松林 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】传感器与微系统 2009-08-20

32 基于ARM和FPGA的微加速度计数据采集系统设计 秦奎; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 【期刊】现代电子技术 2010-01-15

33 磁悬浮转子微陀螺电容结构设计 黄晓刚; 刘武; 邵诗逸; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】传感器与微系统 2006-01-20

34 基于微加速度传感器的无线鼠标的设计 黄得志; 陈文元; 杨华锋; 钱莉; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】传感器与微系统 2006-01-20

35 磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究 邵诗逸; 黄晓刚; 刘武; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室 上海 【期刊】微电子学 2006-02-20

36 磁悬浮转子微陀螺旋转驱动电路设计 邵诗逸; 黄晓刚; 刘武; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室 上海 【期刊】传感器与微系统 2006-02-20

37 磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现 刘武; 黄晓刚; 邵诗逸; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄模与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄模与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄模与微细加工教育部重点实验室微纳米加工国防实验室 上海 【期刊】测控技术 2006-01-18

38 磁悬浮转子微陀螺虚拟仪器测试系统 黄晓刚; 刘武; 陈文元; 张卫平; 吴校生 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】电测与仪表 2006-05-25

39 反干涉齿轮集微机电系统密码锁鉴码问题 张卫平; 陈文元; 赵小林; 李胜勇; 吴校生; 冯敏华; 谈顺毅 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】上海交通大学学报 2006-07-28

40 微密码锁电脑安全认证的软件系统 谈顺毅; 陈文元; 张卫平; 李胜勇; 冯敏华 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海 【期刊】计算机工程与应用 2006-10-11

41 用于微流控芯片的PDMS微混合器工艺和数值分析 陈实; 张卫平; 陈文元; 牛志强 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2006-12-15

42 基于加速度采集系统的无线输入设备的研究 黄得志; 陈文元; 杨华峰; 钱莉; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】计算机应用研究 2007-02-01

43 扑翼微飞行器飞行时的数值模拟与分析(英文) 左德参; 彭松林; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】空气动力学学报 2007-03-30

44 电磁驱动型MEMS安全保险装置关键技术研究 冯敏华; 陈文元; 张卫平; 谈顺毅; 李胜勇 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海 【期刊】新技术新工艺 2007-01-25

45 曲柄摇杆扑翼机构的联合仿真及优化设计 彭松林; 左德参; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】系统仿真学报 2007-04-20

46 SU-8胶模去除技术 崔峰; 靖向萌; 赵小林; 丁桂甫; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2007-02-15

47 一种新颖的同步辐射单色器镜箱调节装置——点槽面机构 柳晖; 高雪官; 曹冲振; 陈文元; 刘鹏; 谢亚宁; 刘涛; 桑园 上海师范大学机械与电子信息工程学院; 上海交通大学机械与动力工程学院; 上海交通大学微纳米研究院; 中国科学院高能物理研究所同步辐射室; 上海师范大学外国语学院 上海 【期刊】红外 2007-07-10

48 角加速度计发展综述 吴校生; 陈文元 上海交通大学 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】中国惯性技术学报 2007-08-15

49 静电悬浮转子微陀螺再平衡回路设计 肖奇军; 陈文元; 崔峰; 李胜勇; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海; 广东肇庆学院电子信息工程系; 广东肇庆 【期刊】中国惯性技术学报 2007-10-15

50 基于MEMS技术的无线USB鼠标研究 杨华峰; 陈文元; 黄得志; 张卫平; 吴校生 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】微处理机 2007-10-15

51 PCR温度控制技术的研究进展 陈实; 张卫平; 陈文元; 邵诗逸; 牛志强 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】测控技术 2007-11-18

52 基于Sigma-Delta技术的差分电容检测电路设计 万明亮; 张卫平; 黄晓刚; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室 上海 【期刊】电测与仪表 2007-11-25

53 基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计 左德参; 冯敏华; 陈文元; 彭松林; 曹雯 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】微计算机信息 2007-12-15

54 基于DSP的悬浮转子微陀螺数字幅度解调 周海军; 黄晓刚; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室 上海 【期刊】传感器与微系统 2007-11-20

55 电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析(英文) 吴校生; 陈文元; 张卫平; 黄晓刚; 刘武; 崔峰 上海交通大学; 上海交通大学; 上海交通大学 微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室; 薄膜与微细技术国家教育部重点实验室; 微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】传感技术学报 2008-01-15

56 压电型微固体模态陀螺的模态及谐振分析 吴校生; 卢奕鹏; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工国家级重点实验室 【期刊】传感技术学报 2008-12-20

57 基于微加速度计的鼠标系统设计 汤坚; 陈文元; 姜晓波; 钱莉 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】计算机工程与设计 2008-12-16

58 静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计 邵珰珰; 陈文元; 肖奇军; 崔峰; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】传感技术学报 2008-11-20

59 模糊控制在静电悬浮转子微陀螺起支中的应用 肖奇军; 陈文元; 崔峰; 李胜勇; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 广东肇庆学院电子信息工程系 【期刊】中国惯性技术学报 2008-12-15

60 基于MEMS强链的移动硬盘加密系统设计和FPGA实现 汤坚; 陈文元; 张卫平; 李怡斌; 许鹏 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】计算机应用 2008-12-15

61 反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究 刘凯; 张卫平; 陈文元; 刘武; 李凯; 戴福彦 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工国防实验室 【期刊】微细加工技术 2008-12-15

62 静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究 肖奇军; 崔峰; 李胜勇; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海; 肇庆学院电子信息工程系; 广东肇庆 【期刊】传感技术学报 2008-02-15

63 Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀 崔峰; 肖奇军; 吴校生; 张卫平; 陈文元; 赵小林 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海 【期刊】功能材料与器件学报 2008-02-25

64 柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析 苏宇锋; 杨杰伟; 赵江铭; 刘武发; 陈文元 郑州大学机电一体化研究所; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 郑州; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】微纳电子技术 2008-06-15

65 悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展 张卫平; 陈文元; 赵小林; 吴校生; 崔峰; 刘武; 黄晓刚; 肖奇军; 马高印; 张忠榕 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海 【期刊】功能材料与器件学报 2008-06-25

66 基于微加速度计的AIR-MOUSE的研究 姜晓波; 陈文元; 汤坚; 钱莉; 凌灵 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学 【期刊】微计算机信息 2008-08-05

67 微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究 凌灵; 陈文元; 李凯; 姜晓波 上海交通大学微纳科学技术研究院 【期刊】仪表技术与传感器 2008-08-15

68 一种振动膜式双向微型电磁驱动器的制作工艺 苏宇锋; 郭丹; 刘德平; 陈文元 郑州大学机电一体化研究所; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 【期刊】机械设计与制造 2008-09-08

69 静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩 马高印; 陈文元; 崔峰; 张卫平; 王立奇 上海交通大学微纳科学技术研究院; 微/纳加工技术国家级重点实验室 【期刊】传感技术学报 2008-08-15

70 双定子静电微电机控制系统的信号检测研究 张忠榕; 刘武; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】传感器与微系统 2008-05-20

71 基于MEMS&FPGA的USB移动硬盘加解密系统 张晶; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学 【期刊】微计算机信息 2008-09-15

72 全固态微陀螺的研究进展 吴校生; 陈文元; 崔峰 上海交通大学微纳科学技术研究院; 微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 【期刊】电子器件 2008-10-15

73 磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析 吴校生; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海 【期刊】传感器技术 2003-12-20

74 基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造 张卫平; 陈文元; 陈迪; 吴校生; 陈晓梅; 徐正福 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 上海市 【期刊】中国机械工程 2003-03-15

75 微机电安全密码锁的设计技术 高杨; 文贵印; 赵小林; 陈文元; 张琛 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 中国工程物理研究院电子工程研究所; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海; 四川绵阳 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

76 微小机电强链中的驱动器 张卫平; 陈文元; 赵小林; 高扬; 吴校生 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心; 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心; 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心 上海; 中国工程物理研究院电子工程研究所; 四川绵阳 【期刊】微纳电子技术 2003-08-25

77 MAX618在电磁微电机步进驱动中的应用 王守亮; 陈佳品; 李振波; 高杨; 陈文元; 赵小林 上海交通大学微纳米技术研究院; 上海交通大学微纳米技术研究院; 中国工程物理研究院电子工程研究所; 上海交通大学微纳米技术研究院 上海 【期刊】微处理机 2005-02-28

78 微机械密码锁鉴码机构的UQS机理研究及其工艺实现 姜勇; 陈文元; 张卫平; 李胜勇 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】新技术新工艺 2005-05-25

79 基于MEMS技术的扑翼式微飞行器的研究 左德参; 陈文元; 彭松林; 李智军; 张卫平 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 微米/纳米加工技术国家重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室上海; 微米/纳米加工技术国家重点实验室 【期刊】系统仿真学报 2005-06-20

80 悬浮转子式微机械陀螺仪的研究进展 崔峰; 陈文元; 苏宇锋; 吴校生 上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】压电与声光 2005-06-25

81 微型聚合酶反应芯片的精确温度控制 贾晓宇; 牛志强; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 【期刊】微计算机信息 2005-04-30

82 基于玻璃-PDMS复合结构的微型毛细管被动阀 牛志强; 贾晓宇; 李建华; 张卫平; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院; 上海交通大学微纳科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海; 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海 【期刊】功能材料与器件学报 2005-09-25

83 基于MEMS技术的无线鼠标 钱莉; 陈文元; 黄得志; 杨华峰; 张卫平 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院; 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院; 薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院 上海 【期刊】北京电子科技学院学报 2005-12-30

84 静电悬浮转子微陀螺及其关键技术 崔峰; 苏宇锋; 张卫平; 吴校生; 陈文元; 赵小林 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室 上海 【期刊】中国惯性技术学报 2005-12-28

85 柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 苏宇锋; 陈文元; 陈晓梅; 张卫平; 王伟 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 中船集团公司726研究所 上海 【期刊】仪表技术与传感器 2005-12-25

86 动态被动阀微泵的设计优化和制造 张卫平; 陈文元; 吴校生; 陈晓梅; 徐正福 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 上海 【期刊】机械设计与研究 2003-04-30

87 电磁驱动柔性振动膜无阀微泵 苏宇锋; 陈文元; 崔峰 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2003-12-30

88 电磁微电机的设计与制造技术 高杨; 赵小林; 陈文元; 张琛 中国工程物理研究院电子工程研究所; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 四川绵阳 【期刊】信息与电子工程 2003-09-30

89 基于电磁微电机的密码锁控制系统研制 陈松 ; 陈佳品 ; 李振波 ; 陈文元 ; 赵小林 上海交通大学信息存储中心; 上海交通大学信息存储中心 【期刊】电子技术 2003-10-12

90 基于AT90S8515的微密码锁的微马达测试系统 樊晓霞 ; 陈佳品; 李振波; 陈文元; 赵小林 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海 【期刊】测控技术 2004-02-18

91 微马达在微机械密码锁中的控制 樊晓霞; 陈佳品; 李振波; 陈文元; 赵小林 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海 【期刊】计算机工程 2004-04-05

92 磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究 吴校生; 陈文元; 赵小林; 张卫平; 何淼 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2004-03-30

93 磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究 何淼; 吴校生; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海 【期刊】机械设计与研究 2004-06-30

94 一种高分子聚合物PCR芯片的设计及有限元分析 牛志强; 贾晓宇; 张卫平; 李建华; 陈文元 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2004-09-30

95 基于MEMS的微泵研究进展 苏宇锋; 陈文元 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室 微米纳米加工技术国家级重点实验室; 微米纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】微纳电子技术 2004-05-15

96 一种用于同步辐射光束线上的压弯机构的设计与试验 王俊杰; 陈文元; 张卫平; 姜勇; 刘鹏; 盛伟繁; 胡天斗 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室; 中国科学院高能物理研究所; 中国科学院高能物理研究所 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】机械设计与研究 2004-12-30

97 微通道式PCR芯片温度的研究 贾晓宇; 牛志强; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2004-12-30

98 基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺 苏宇锋; 陈文元 上海交通大学微米、纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微米、纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室 【期刊】机械制造 2004-12-20

99 磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计 吴校生; 陈文元; 赵小林; 李振波; 张卫平; 崔峰; 何淼 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室 上海 【期刊】上海交通大学学报 2005-01-30

100 PKI技术及其存在问题的分析 李胜勇; 陈文元; 张卫平 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 【期刊】微计算机信息 2005-01-10

101 多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究 姜勇; 陈文元; 赵小林; 丁桂甫; 倪志萍; 王志民 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室 上海 【期刊】微细加工技术 2005-03-30

102 一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺 苏宇锋 ; 陈文元 ; 崔峰 上海交通大学微米纳米技术研究院; 上海交通大学微米纳米技术研究院 【期刊】新技术新工艺 2005-02-25

103 BSRF1W1B-XAFS光束线研制 谢亚宁; 胡天斗; 刘涛; 张静; 陈文元; 张卫平; 高雪官 中国科学院高能物理研究所同步辐射室; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学机械工程与动力学院 北京 【期刊】核技术 2004-12-15

104 生物大分子晶体学光束线准直镜、聚焦镜系统的设计 张卫平; 陈文元; 吴校生; 陈晓梅; 盛伟繁; 刘鹏; 胡天斗 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心; 中国科学院北京高能物理研究所; 中国科学院北京高能物理研究所 上海 【期刊】机械设计与研究 2002-10-30

105 微机械密码锁中的鉴码器机构 庞军玲; 陈文元 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 上海 【期刊】机械设计与研究 2002-12-30

106 公文审批数据库的制作 李世峰; 李玉东; 陈文元; 丁涛 上海交通大学信息存储研究中心; 上海索源系统有限公司 【期刊】微型电脑应用 1999-03-30

107 微行星齿轮减速器的计算机辅助建模和仿真的研究 张卫平; 陈文元; 丁涛; 李世峰 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】微型电脑应用 1999-05-30

108 基于公共网络的虚拟专用网探析 范志荣; 陈文元; 张卫平 上海交通大学信息存储研究中心国家教委薄膜与微细技术部门开放实验室; 上海交通大学信息存储研究中心国家教委薄膜与微细技术部门开放实验室 【期刊】计算机应用研究 2000-03-28

109 模数≤0.06mm的微行星齿轮减速器的CAD/CAM技术 张卫平; 陈文元; 范志荣; 徐正福 上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细加工国家教委开放实验室; 上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细加工国家教委开放实验室; 上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细? 【期刊】机械设计 2000-12-20

110 微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算 陈文元; 张卫平; 范志荣 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】上海交通大学学报 2000-03-30

111 LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计 陈文元; 张卫平; 周迪; 范志荣 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】微细加工技术 2000-03-30

112 基于多协议标记交换的虚拟专用网 徐正福; 陈文元; 张卫平 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 【期刊】电子工程师 2001-08-30

113 多协议标记交换(MPLS)中的QoS 徐正福; 陈文元; 张卫平 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心; 上海交通大学信息存储研究中心 上海 【期刊】通信技术 2001-07-30

114 悬浮转子式MEMS微陀螺的研究概况 陈文元; 崔峰; 吴校生; 张卫平 上海交通大学微纳米科学技术研究院; 上海交通大学微纳米科学技术研究院 【会议】2006年船舶通讯导航学术会议论文集 2006-11-01

115 基于NRF9E5射频无线遥控系统的设计 左德参; 冯敏华; 彭松林; 曹雯; 陈文元 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 【会议】2006年全国电子机械和微波结构工艺学术会议论文集 2006-11-01

荣誉奖励：

曾获上海市振兴一等奖，科技进步三等奖，国家教委科技进步一、二等奖。

1989年获北京国际博览会金奖。

1990年获上海市科技结合生产振兴一等奖。

1992年获上海市科技进步三等奖。

1998年获国家教委科技进步二等奖。

1999年获国家教育部科技进步一等奖。

2000年获国家科技发明二等奖。

资料更新中……

媒体报道：

见“微”知“著”

–––记国家技术发明二等奖获得者、微纳研究院陈文元教授

一项科研成果拥有40项发明专利、专利数目居300多个国家科技奖获奖项目之首；一个人申请了80多项发明专利、其中已授权30多项、被誉为“发明家”。这就是我校获得 2008年国家技术发明二等奖的项目“非硅MEMS技术及其应用”，和项目的第一完成人、我校微纳科学技术研究院陈文元教授。

MEMS：高科技离我们并不遥远

MEMS是微电子机械系统的英文缩写，从集成电路发展而来，把传感器、执行器、微电子线路集成在一起，完成一定的功能。它首先从硅基MEMS开始，但非硅材料众多，包括各种金属、聚合物、压电陶瓷等，有不同特性，可满足不同需求。非硅MEMS技术是硅基MEMS技术的补充和发展。

听起来有些生僻的“MEMS技术”其实与我们的生活关系密切：照相机中的防震设置、手机中的隐匿天线、汽车撞车后气囊弹出传感器，都是MEMS技术在日常生活中的典型应用。

陈文元和所在团队，在国家863计划等项目支持下，通过自主创新和发明，在三维非硅MEMS-微加工新技术、非硅微执行器、基于非硅微加工技术的集成微流控聚合物生化芯片、基于非硅微加工技术的微光器件、非硅电磁型微系统等方面取得了一系列成果，这些成果奠定了非硅MEMS技术的基础，具有完全知识产权，项目总体达到国际先进、国内领先水平，从加工技术到微器件，从研究到应用，成为一个完整的非硅MEMS技术体系。

基于非硅微加工技术的集成微流控聚合物生化芯片，被称为“片上实验室”、“在线化学放大器”，通过在玻璃和其他材料，合成生物检验的芯片，能快速低成本地完成生化试验。

基于非硅微加工和电磁型微马达技术发明的“MEMS-强链”，是一种涉及国防安全的强对抗性、高可靠性的保险装置，它通过由微驱动器驱动的鉴码轮系和信息能量耦合系统，形成“硬”的物理屏障，实现“对合法用户是开放的，对非法用户入侵系统是关闭的”功能。可用于武器装备，弹药库，机要部门，政府机关，银行，金融等部门的信息安保系统。想给您的电脑、硬盘加一个只有您自己能打开的“超级密码锁”？“MEMS-强链”技术上已经实现。

2个“八年抗战”，赢得2次国家科技奖

陈文元教授已经是第二次获得国家科技发明奖了。2000年，他参加的“实用电磁微马达关键技术研究项目”已经获得了MEMS领域的第一个国家科技奖。陈文元和很多人一样依然记得：1999年，依据他们发明的微马达制作的翼展18毫米的小飞机，作为上海建国50周年的献礼在北京展出引起轰动，包括时任国家主席的江泽民学长在内的多位国家领导人都来参观。但是，人们不知道的是，从微马达的研究到应用于能够表演的小飞机，陈文元和同事们在实验室里做了8年。巧的是，又用了8年时间，再次获得了国家科技发明奖，陈文元教授戏称：“正好两个八年抗战。”

刚开始做科研的时候，缺少资金的支持，也没有明确的方向。“最开始只有6万元经费。”但是大家没有放弃，也没有动摇，咬着牙坚持走过了最初的困难阶段。“搞科研不能急功近利，要耐得住寂寞。”陈文元经常这样对团队中的师生讲述所谓的成功经验：“特别是高新科技领域内，特别要踏踏实实，没有捷径可走，只能厚积薄发。”因为两次获得国家科技奖，大家称陈文元为“获奖专业户”。殊不知，“获奖专业户”首先是“吃苦专业户”、“碰壁专业户”，不怕吃苦，不怕碰壁，按照认定的方向坚持到底，才“吹尽黄沙始得金”。

30余项专利，赢得“发明家”美称

本年度的国家科技大奖发明专利数目激增，300余个获奖项目共拥有发明专利840项，成为我国原始创新能力提升的标志性数据，“非硅MEMS技术及其应用”成为其中的代表性项目，共申请了70多项专利，到去年申报时就已经获得授权40项，其中陈文元贡献18项。目前，陈文元本人申请的专利已达80余项，已获授权30余项，享有“发明家”的美誉。

“当然，仅仅能吃苦是不够的，我也有一点‘秘诀’”陈文元教授忽然露出些许“神秘的笑容”–––“那就是要找准方向。”原来，严谨的科学家也有幽默风趣的时候。

MEMS是硅微加工技术发展起来的，可是，硅比较脆，在恶劣的外部环境条件下比较容易受到影响。在研究的过程中，陈文元及其团队逐渐产生了新的想法。

1989年美国盐湖城的一次会议上，MEMS的概念首次被提出来了。在上世纪90年代初，陈文元及其团队根据非硅材料特点和自己的研究基础，确定了非硅MEMS的研究方向。好的开始是成功的一半，因为找对了方向，也因为在国内起步最早，陈文元和他的团队对非硅MEMS研究越来越深入、系统和全面，形成了比较完整的非硅MEMS研究体系。“九五”后期，国家相关计划将非硅 MEMS技术列为重点发展方向之一。在国家的大力支持下，2000年，电磁型微马达项目获得了国家技术发明二等奖，成为MEMS领域内的第一个国家奖。在这个方向上，仅2006年微纳研究院就拿到了6个国家863项目，我校在非硅MEMS领域内的研究水平和科研实力，已经得到了国家和社会的确认。

“目标是在做的过程中逐渐明确的。重要的是找准方向，更重要的是坚持到底。”–––陈文元这样鼓励别人，其实也是在这样鼓励自己。

“我们要把样品发展成为产品，否则发明有什么意义？”已经获得了两个国家科技奖，但陈文元显然并没有满意，因为“还没有达到预想的目标，产生理想的经济效益”。“我们要更努力把技术搞得更好，我相信，通过若干年的努力，MEMS的大规模产业化一定会到来。”陈文元对此深信不疑。

从1989年到现在，非硅MEMS-的发展不过二十年，但发展的速度十分惊人，为了和国际先进水平保持同步，陈文元及其团队依然在努力。他们知道，得益于材料种类的广泛多样性，非硅MEMS技术拥有非常广阔的发展空间。“借鉴硅基MEMS技术发展的经验，充分利用材料、机械、电子等交叉学科优势，继续发挥原创和集成创新，非硅MEMS技术的发展和应用前景将不可限量”。陈文元对此充满信心。

微纳研究院陈文元团队的科研成果

来源：《上海交通大学新闻网》2009年02月20日